Производството на полупроводници е индустриален процес, изискващ изключителна прецизност, с разчитане на ултрапластови водни стадии на основни етапи, като почистване на вафли, фотолитография, офорт и химическа механична планаризация (CMP). Водните системи с висока чист за индустрията на микроелектрониката трябва да отговарят на строги критерии, включително съпротивление, по-големи или равни на 18,2 MΩ · cm и общ органичен въглерод (TOC) по-малък или равен на 1 PPB. Всички остатъчни йони или частици могат да намалят добива на чип. Използване на своята световна водеща технология за керамична мембрана и изцяло мембранна процес, осигуряване на опазване на околната средаes силно стабилни решения заСистема за обратна осмоза на полупроводникS, ефективно подкрепяща сигурността на качеството на водата във вътрешните вериги за доставки на полупроводници.
Технологичен пробив на All-Membrane процес
Основната технология на Тайхе-„изцяло мембранният процес за лечение на концентрат на обратната осмоза и циркулиращите отпадни води“-сертифициран от Асоциацията на индустрията на Китай мембрана като „Международно напреднало ниво“. Тази технология използва специализирани тубуларни керамични ултрафилтрационни мембрани (GM) единици, за да замени три конвенционални стъпки за предварителна обработка („Алкално утаяване + пясъчна филтрация + органична ултрафилтрация“) в един процес, като значително опростяват работните процеси, като същевременно подобряват възможностите за борба с противоофинаването. Керамичните мембрани, изработени от нанокомпозити, проявяват устойчивост на замърсяване, силен алкален толеранс и висок поток. В ултрапластовата вода за производството на полупроводници те значително намаляват оперативните разходи и намаляват твърдостта на отпадъчните води.
Защитни мерки за приложение в ключови етапи на процеса
- почистване на вафли и CMP:Системата за обратна осмоза на ултра-пурбата трябва напълно да премахне частиците и металните йони, за да предотврати дефектите на повърхността на вафли. Керамичната мембрана на Taihe ефективно прихваща частиците, по-големи или равни на 0. 1 μm, осигурявайки нисък SDI (индекс на плътност на тиня) за последваща работа на полупроводникови системи за обратна осмоза, осигурявайки дългосрочна стабилна работа на мембраната.
- Фоторезистично изплакване:Фотолитографията е силно чувствителна към TOC. Системата на Taihe синергизира керамичните мембрани с ултравиолетова стерилизация за контрол на TOC в рамките на 1 PPB, отговаряща на изискването за „нулева толерантност“ за органични вещества при фоторезисти.
- Използвайте повторна употреба на отпадни води и CMP:For high-turbidity CMP wastewater, its ceramic membrane units demonstrate strong impact resistance, treating high-salinity wastewater with hardness >1200 mg\/L при 95% честота на възстановяване, драстично намалявайки консумацията на сладка вода.
Интелигентни практики и зелени нисковъглеродни практики
Taihe интегрира DCS (система за разпределена контролна система) Мащабни интегрирани системи за управление в ултрапластова система за пречистване на водата, което позволява мониторинг в реално време на параметрите за качество на водата и оптимизацията на енергията. Неговият „изцяло мембранен процес за регенерирано оборудване за повторна употреба на вода“ е посочен в зеления каталог с нисковъглеродни технологии на провинция Шандонг, намалявайки въглеродните емисии чрез рационализирани процеси, които са в съответствие с нуждите от устойчиво развитие в сектора на полупроводниците.
Заключение
Тъй като напредналите процеси (напр. 5Nm, 3nm) ескалира изискванията за качество на водата,Система за обратна осмоза на полупроводникS трябва непрекъснато да натиска границите на чистотата. Въз основа на своята „международно напреднала“ технология за керамична мембрана, Тайхе ускорява научноизследователската и развойна дейност в мембраните с ултрафилтрация с висок поток за електронни приложения за вода с висока чист, допълнително опростява предварително обработка и повишава ефективността на водата на продукта. Бъдещите иновации ще дадат възможност на китайската верига за доставки на полупроводници в Китай, създавайки по-надеждни технологични показатели за водни системи с висока чистота за микроелектроничната индустрия.